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금속-세라믹 적층공정 적용 가스센서 및 그 제조방법
Multilayered metal-ceramic platform and processing methods for gas sensor
소 속
한양대(ERICA)
연구책임자
좌용호
기술분류
나노소재/소자
키워드
열전 센서, 수소센서, 칼코지나이드 기반 센서
 
기술개발 단계(TRL 9단계)
기초연구단계 실험단계 시작품단계 제품화단계 사업화
1. 기초이론/실험   3. 실험실 규모의
기본성능 검증
  5. 확정된 시작품
제작 및 성능평가
  7. 신뢰성 평가 및
수요기업 평가
  9. 사업화  
2. 실용목적의
아이디어,
특허등 개념 정립
  4. 실험실 규모의
평가
V 6. 파일롯 규모
시작품 제작 및
성능 평가
  8. 시제품 인증 및
표준화
   
■ 세라믹/금속 적층형 가스센서 및 그 제조방법 / 출원번호 10-2016-0073529 / 출원일 2016-07-31 / 등록
 
■ 본 기술은 세라믹/금속 적층공정을 이용한 가스센서 및 가스센서 제조방법에 관한 기술
­ - (센서 몸체) 세라믹/금속 적층 공정(Multi-Layer Ceramic/Metal Process)이 적용된 적층형 세라믹/금속 플랫폼을 적층 방향으로 커팅, 세라믹 유전체, 제1 내부전극, 세라믹 유전체 및 제2 내부전극이 순차적으로 층을 이룸
­ - (센싱면) 노출된 내부전극이 센싱면을 구성하며, 내부전극은 갈바닉 치환 반응에 의해 칼코겐(chalcogen)으로 치환되어 가스감응물질층 형성
    ※ 칼코겐 :  셀레늄(Se) 및 텔루륨(Te) 중 택 1, 로드(rod) 형태

 
■ 세라믹/금속 적층 공정을 이용하여 저렴한 단가로 센서 플랫폼 대량생산 가능
■ 금속으로 이루어진 내부 전극과 세라믹 유전체 두께, 적층 개수 조절 용이
■ 서로 이격되어 있는 내부 전극이 세라믹 유전체에 의해 분리 → 단락 방지 → 장기안정성 확보 가능
■ 내부 전극이 노출되어 있는 센싱면에 가스 감응 물질층 형성 → 감응도 향상
■ 대상 가스에 따라 가스 감응 물질 종류와 증착 공정을 다양하게 적용 가능
 
■ 본 기술 적용 제품(시장) : 가스 센서 (H2, H2S, SOx, NOx 등)
■ 시장동향
­ - 세계 센서 시장 규모는 약 1,200억 달러 규모이며, 2020년 까지 매년 약 15%의 성장률을 기록할 것으로 전망됨
­ - 전체 가스센서 시장에서 수소 센서의 경우 현재 약 10억 달러 정도의 시장을 형성하고 있으나, 향후 수소 기반 에너지 인프라가 구축될 경우 관련 시장이 급성장할 것으로 예상됨 

 
■ 공동연구(Joint R&D), 기술이전(매각) 또는 라이센싱(Technology Transfer or Licensing)
 
■ 한양대학교 ERICA / 곽태영 / 031-400-4983 / khsty19@hanyang.ac.kr
 
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